校正系統 用于校準的激光干涉儀

1/三束激光干涉儀SP5000TR

同時測量準確長度、俯仰和偏航角的三重光束激光干涉測量系統

最高精度的彈性長度測量系統

集成光束方向檢測便于處理和調整

可使用各種光學反射器,例如:球形、平面反射鏡

允許測量反射器的傾斜度最高為+12.5

緊湊型設計

鋁、不銹鋼或因瓦的傳感器頭設計

波束距離:12毫米

OEM版本,OEM軟件和真空版本是可能的

具有可選擇性的可調偏轉鏡的波束偏轉

通過可選接口擴展應用范圍

廣泛觸發選項

按現行有效標準校正軟件

咨詢電話：13522079385

工業和研究中的許多應用領域需要高度精確的同時位移和角度測量。在三反射器單元固定的托架的移動過程中,同時獲得了俯仰角和偏航角以及長度測量,使快速和高精度地評估運動軸成為可能。快速、簡單的傳感器調整尤為重要。

SP5000TR三束激光干涉儀是將三個干涉儀組合在一起的精密長度測量儀器。所有三個測量通道都由一個具有相同高度穩定激光頻率的光源輸入。因此,三長度值可以同時測量納米精度.從兩個長度值和標定光束距離的差異出發,可以用高分辨率和高精度確定相應的角度。

干涉儀系統具有模塊化設計,因此可以適應各種測量任務。

傳感器頭的光纖耦合和可選集成光束方向檢測支持易于處理和精確調整。

我們的設計 SP5000TR三束干涉儀 緊湊有力。這使它成為工業和研究中高精度測量的理想。版本的OEM儀器也可以在真空中使用.

對于大型測量范圍或大型物體的校準,建議使用無線無線電溫度傳感器或LCS精密氣候測量站。

適用領域

引導、測量、顯微鏡和定位級的激光干涉測量

二坐標或多坐標測量的高精度俯仰和偏航角校正

測量機器和機床的校正

差數測量(膨脹測量、材料測試)

動態角測量,獲取角振蕩

按要求延長測量角度的測量范圍

2/校準激光干涉儀SP 15000 C5

用于高精度同時測量和校準定位軸的長度、俯仰角、偏航角和直線度的激光干涉儀

最高精度的彈性長度測量系統

高度精確的長距離測量

同步、連續,并與一個可選的滾轉角傳感器結合,測量長度、斜角和偏航角的6個自由度

集成光束方向檢測便于處理和調整

測量反射器的大傾斜不變性

波束距離:50毫米

旋轉光學可測量的水平和垂直直度分量

廣泛觸發選項

Windows和Linux下OEM軟件的開放接口

按現行有效標準校正軟件

高精度的機械軸引導特性的動態采集以及隨后的符合標準的校準是一個非常勞動和時間密集的過程,最終導致高定位精度。

… SP15000C5校準激光干涉儀 專門為滿足坐標測量機和高精度機床制造商的要求而開發。它使同步,連續,并與一個可選的滾轉角度傳感器,6自由度測量.通過激光干涉測量,在所有三個長度測量通道中使用相同的高度穩定的激光頻率,獲得了X線和Y線的測量量長度、俯仰角、偏航角和直線度。

完整的機器驗收或體積補償可以使用可選的軟件實現。

由于直線光學的緊湊設計,直線鏡直接連接到傳感器頭上。因此,只有兩個組件需要組裝并相互匹配。即使在擁擠或難以進入的空間,測量系統也可以快速安裝和可靠調整。

傳感器頭的光纖耦合和集成光束方向檢測支持了處理和調整的方便性。校準干涉儀不需要額外的支架。它可以直接放置在穩定的機床上。這樣可以最大限度地減少要校準的光學元件的數量。

對于大型測量范圍或校準任務,無線無線電溫度傳感器或我們的LCS精密氣候測量站是首選。